【公開日：2025.06.16】【最終更新日：2025.06.13】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NU0252
利用課題名 / Title
セラミックスへの皮膜形成
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
スパッタリング/Sputtering,蒸着・成膜/Evaporation and Deposition,電極材料/ Electrode material
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
前田 英次郎
所属名 / Affiliation
名古屋大学大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
電極の作製．
実験 / Experimental
電極として使用するため，セラミクス管の外表面にスパッタリング装置（NU-205）を使って銅薄膜を成膜した．
結果と考察 / Results and Discussion
数回の試行で成膜条件を定めた後，数回のスパッタリング成膜を行った．成膜時間を変更することで膜圧を0.5 µm〜1.0 µmの間で調整した．また，外表面に均一に成膜するため，適宜セラミクス管を回転させた．その結果，想定通りに成膜できたことを実体顕微鏡観察で確認した．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
なし．
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件