【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.07】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24TU0132
利用課題名 / Title
水中加工により創成した微細組織の観察
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電極材料/ Electrode material,電子顕微鏡/ Electronic microscope,集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
久慈 千栄子
所属名 / Affiliation
東北大学工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
今野豊彦,竹中佳生
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-504：超高分解能透過電子顕微鏡
TU-508：集束イオンビーム加工装置
TU-507：集束イオンビーム加工装置
TU-521：プラズマ集束イオンビーム加工装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
直径がナノメートルオーダ―の線状のナノ構造を有するナノワイヤは、高感度センサやエネルギ変換素子など、様々な分野への応用が期待されている。本研究では、容易にナノワイヤを形成する手法の確立を目指し、作製したナノワイヤの構造分析および構造観察を行った。
実験 / Experimental
観察対象の材料は純度99.9%以上のアルミニウムを用いた。アルミニウム表面にナノ構造物を作製したのち、集束イオンビーム加工装置で薄片試料を作製し、透過型電顕微鏡を用いて詳細な構造観察を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
作製したナノ構造物は、直径数ナノメートル、長さ約100nm程度のナノワイヤであることを確認した。ナノワイヤは高密度に作製出来ており、局所領域からの回折像から、作製したナノワイヤはアモルファス構造であることを明らかにした。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 透過型電子顕微鏡による試料の断面観察例。基材のアルミニウムの直上にナノワイヤが形成されている。
図2 作製条件を変更した試料の透過型電子顕微鏡像。作製条件を変えた場合でも基材上へのナノワイヤが確認された。
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件