【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.30】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24TU0120

利用課題名 / Title

ナノグラニュラー粉体試料の構造観察

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学 / Tohoku Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials

キーワード / Keywords

ナノグラニュラー, 高抵抗率強磁性材料,電子顕微鏡/ Electronic microscope,集束イオンビーム/ Focused ion beam

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

鈴木 一行

所属名 / Affiliation

公益財団法人電磁材料研究所

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

小林 伸聖

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

今野 豊彦,兒玉 裕美子

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

TU-504：超高分解能透過電子顕微鏡
TU-507：集束イオンビーム加工装置
TU-508：集束イオンビーム加工装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

磁性金属グラニュールとセラミクスのマトリクスからなるナノグラニュラー材料はスパッタ成膜により基板上に薄膜で作製される。これを基板から剥離して、単一の粉体試料とすることを試みている。それに対する粉砕・加圧の反復による構造の変化の有無を観察する必要があると考え、本課題を申請した。

実験 / Experimental

磁性金属とフッ化物のタンデムスパッタで成膜したナノグラニュラー膜を剥離、粉砕した粉体試料を準備した。また、これに加圧と粉砕を複数回施した粉体試料も作製した。それぞれの粉体試料をFIBで加工した上で、それらの構造の差異を透過型電子顕微鏡で観察した。

結果と考察 / Results and Discussion

未加圧の粉体試料ではマトリクスの柱状組織（図1）が観察されたのに対して、加圧と粉砕を繰り返した試料ではそれが存在していないことがわかった（図2）。この結果により、加圧と粉砕の反復で磁性金属グラニュールの分散性が高まることが確認できた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図1　未加圧のナノグラニュラー粉体試料のTEM観察像

図2　加圧・粉砕を繰り返した粉体試料のTEM観察像

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件