【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.15】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24TU0115

利用課題名 / Title

Ag-Si合金リボンの共振周波数測定

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学 / Tohoku Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

低温接合材料,高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique,エレクトロデバイス/ Electronic device,ボンディング/ Bonding

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

中山 幸仁

所属名 / Affiliation

大阪大学産業科学研究所

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術相談/Technical Consultation（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

大阪大学産業科学研究所においては、半導体デバイス接合に向けた低温接合材料としてAg-Si合金の開発を進めており、今回は、リボン形状のAg-Si合金の共振周波数測定からヤング率を導き出すことを研究目的とした。共振周波数測定の実施にあたり、東北大学ナノテク融合技術支援センターに技術相談を行った。

実験 / Experimental

東北大学工学部のマイクロ・ナノマシニング教育センターのPolyteck MSA-500装置を用いて、Ag-Si合金リボンに対して共振周波数測定を実施した。

結果と考察 / Results and Discussion

東北大学ナノテク融合技術支援センターとの技術相談により、東北大学工学部の装置を用いてリボン試料からの共振スペクトルを得る測定できたが、単ロール液体急冷装置で作製したリボンは、厚みが一様ではなかったため、期待したヤング率の値を得ることができなかった。今後、ヤング率を正確に求めるには、リボンに対して機械加工を施し、規定のサイズに加工する必要があると考えられる。また、円柱やワイヤー形状に加工することも検討する。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件